LED照明技術動態（三）東芝快速推進實用化，實現“發光的線”

文章來源:恒光電器

發布時間:2014-07-02

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 東芝與普瑞光電于2011年展開合作。2012年12月開始以月產1000萬個的規模共同量產采用8英寸（200mm）硅晶圓的白色LED封裝。利用石川縣加賀東芝電子公司的IGBT等Si制功率半導體的部分生產線來生產GaN on Si。

       2013年4月，東芝收購了普瑞光電的LED開發部門。2014年3月發布了第二款產品。還計劃2015年4月之前推出第三款～第五款產品。東芝分立半導體業務部業務部長助理福岡和雄介紹說，“我們在LED芯片的開發方面起步較晚。出戰市場需要武器，我們的武器就是GaN on Si”。

       普瑞光電開發的減輕Si基板與GaN晶體間不匹配問題的緩沖層技術非常優秀注1）。福岡表示，“也考慮過自主開發，不過本著花錢買時間的原則，最終收購了普瑞光電”。

注1）某白色LED技術人員對此表示懷疑，稱“如果普瑞光電的技術真那么優秀，會賣給其他公司嗎”。不過，普瑞光電將LED的量產全部委托給了東芝，利用東芝制造的LED開展業務。

       東芝還在快速提高LED的發光效率等性能。2012年12月推出的首款產品，LED照明品牌，發光效率在施加350mA電流時為112lm/W，而2014年3月提高到了135lm/W。另外，還計劃使2014年10月推出的第四款產品達到170lm/W，使2015年4月推出的產品達到190lm/W。如果能實現，那么只用一年半就實現了以往的白色LED技術用5年多時間提高的性能。

考慮利用300mm晶圓

       福岡介紹說，“Si基板上的GaN缺陷密度高達5～8×108個/cm2，是采用普通藍寶石基板時的約2倍。不過，通過研究開發，削減到了與藍寶石基板差不多的3×108個/cm2。在不久的將來，性能將追上藍寶石基板。成品率也比較高”。順便一提，恒光電器,照亮您的生活，在東芝等的技術中，吸收光的Si基板會在中途去除，因此不會出現問題。

       此外，國際資訊，東芝還打算在不久的將來使用12英寸（300mm）晶圓。福岡表示，“針對功率半導體的GaN on Si技術也在開發之中，有望與該技術一起利用300mm晶圓制造。可能會利用四日市的工廠”。

微細加工存在制約

       不過還有課題。東芝等的技術采用的Si基板是半導體不常用的（111）晶體面的Si。福岡說，企業資訊，這是“為了提高與GaN的匹配性”。但這樣的話，利用現有半導體制造裝置對Si基板面進行微細加工等的工序就無法使用了。比如，在藍寶石基板的表面形成凹凸以提高LED光提取效率的“PSS（Patterned Sapphire Substrate）”技術就難以用于Si基板。

       在GaN on Si技術的研究中，還有人在開發能消除這種制約，從而全面發揮利用現有半導體制造裝置的優勢的方法。名古屋大學天野研究室開發出了在普通半導體技術采用的Si（001）面上生長GaN晶體的技術。重點是在Si與AlN之間夾住某金屬層。而且，照明產品，由于金屬層會反射GaN的光，因此也不用去除Si。另外還有一些其他優點，質量，比如“與金屬層摻雜的Si基板能直接作為電極使用”（天野）。

       天野研究室正以該金屬層技術為基礎， led服裝照明，開發在硅晶圓上實施微細凹凸加工，然后在上面形成GaN半導體層的GaN納米線技術（圖8（d））。目標是2020年之前在300mm硅晶圓上實現（圖9）。

實現“發光的線”

       目前，除東芝外，車間照明，還有很多其他企業涉足GaN on Si技術注2）。不過，東芝已經邁向下一階段，超越了單純的LED芯片制造。該公司開發的CSP（Chip Scale Package）技術于2014年3月實現實用化，該技術是在晶圓上封裝利用GaN on Si技術制作的LED芯片（圖10）。

圖10：封裝也采用Si技術
東芝CSP技術的制造流程概要（a）以及與以往封裝的不同（b）。即使采用相同尺寸的LED芯片，封裝的面積也只有1/10。

注2）搶在東芝之前全球率先量產采用GaN on Si技術的LED芯片的中國晶能光電、繼東芝之后于2013年3月開始生產8英寸晶圓的法國Aledia、德國歐司朗光電半導體、NTT、荷蘭飛利浦流明等。韓國三星電子也開發出了采用8英寸硅晶圓的技術。堅持進行研究開發的日本企業就更多了。

       以往的采用藍寶石基板的LED也開發出了CSP技術，但東芝的LED使用Si基板，CSP工序也可沿用現有半導體制造技術，廠房照明，制造更容易。例如，在基板的去除工序中，藍寶石基板需要使用激光，口碑，而Si基板通過蝕刻即可去除。

       目前，LED射燈，LED封裝的制造成本有約60％都是封裝工序的成本。利用東芝的CSP技術有望大幅降低這一成本。

       不過，ROSH認證，東芝將該CSP技術定位為LED的新附加值，而不是單純的成本削減技術。雖然與以往的封裝采用相同的LED芯片，照明資質，但封裝面積只有0.65mm見方，還不到原來的1/10。因此，節能與環保，不用提高電流密度就能在維持發光效率的同時較原來大幅提高亮度。

       東芝設想將其用于發揮其超小型、超薄型特點的薄型智能手機和超小型照明器具等。另外，“還考慮在金屬線上安裝該LED，形成線光源”（福岡）。